浚和（上海）儀器科技有限公司
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更新時間：2024-01-08 07:51:30瀏覽次數(shù)：211次
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小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■ 產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
■ 規(guī)格
| 型號 | PDC200 | |
| 方式 | RIE模式、平行平板腔體 | |
| 性能 | 發(fā)生器功率： | 0-300W |
| 發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
| 發(fā)生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching） | |
| 構成 | 腔體材質： | 鋁制 |
| 腔體內尺寸： | W400×D250×H150mm | |
| 反應氣體： | 二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | |
| 控制方式： | 全自動控制 | |
| 真空度顯示： | 數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內真空度。 | |
| 配管材質： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
| 門： | 鉸鏈門 | |
| 外形尺寸： | W540×D600×H600mm | |
| 真空泵抽速： | 4m3/hour | |
| 電源規(guī)格： | AC220V 10A | |
| 重量： | 約100kg | |
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