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技術(shù)文章

日立HITACHI掃描電鏡減振臺系統(tǒng)安裝案例

閱讀:1發(fā)布時間:2025-7-8

日立HITACHI掃描電鏡減振臺系統(tǒng)安裝案例


1、減振平臺安裝尺寸(長×寬×高):1130×902×200(mm)(可以根據(jù)不同電鏡定制),減振平臺重量:190kg;

2、主動減振帶寬::0.5Hz至100Hz;

3、產(chǎn)生磁場強度:≤0.3mGpkpk;

4、 靜息時間:300ms;

5、平臺負(fù)載重量:300kg至1500kg;

6、減振效果:從0.5Hz開始有減振效果;到2Hz,水平和垂直兩個方向均達到-20dB的衰減(90%衰減);

7、控制自由度:6;

8、控制方式:含前饋的雙重主動控制;

9、執(zhí)行單元:直線電機;

10、推力常數(shù):80N/Amp;

11、壓縮空氣:不需要;




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